低温湿式氧化通称WAO，该技术开始在1944年科学研究明确提出，用以造纸黑液，也取得了多种专利权，故也称齐默尔曼法。湿式氧化全过程较为复杂，一般认为有两种关键流程：
1、汽体里的氧从液相向高效液相的传质过程；
2、溶氧与栽培基质间的化学变化。
若传质过程危害总体化学反应速率，能通过提升拌和来清除。下边主要详细介绍化学变化原理。
依据研究报道，广泛认为湿式氧化除去有机化合物存在的氧化还原反应关键归属于自由基反应，共历经诱导期、增殖期、衰退期及其完毕期四个阶段。在诱导期和增殖期，分子态氧参加了各种各样氧自由基的建立。但是也有专家学者觉得分子态氧只不过是在增殖期才参加氧自由基的建立。